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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
3431.1;3 MIE
Projekttitel
Technology for thin, large silicon diaphragms
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.02.1997
Endedatum 06.08.2004
 
Gesamtkosten bewilligt 277'600.00  CHF
Bereich 8 Mikroelektronik
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % Noch nicht erfasst
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014