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Research unit
INNOSUISSE
Project number
2642.1;1 MJK
Project title
Mikromechanischer Schalter-Shuttler kombiniert mit integrierter Optik

Associated projects
Research organisation: Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Project number 2951.2;1 EUK
Project title EUREKA-OSKAR: Optimierung eines mikromechanischen Choppers mit Massendämpfer