Reduction of street-width in chip-singulation by cutting to increase chip density

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

5314.3;5 KTS-NM

Titre du projet

Reduction of street-width in chip-singulation by cutting to increase chip density

Projets afférents

Unité de recherche:	Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Numéro de projet	6654.1;3 NMS-NM
Titre du projet	Micro jet perturbation reduction by etched high-pressure nozzles aiming reduction of street-width in chip-singulation by water-jet guided laser cutting