Large-aera and high-throughput coating system (PECVD) for silicon thin-film solar cells

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

4559.1;3 KTS-IW

Titre du projet

Large-aera and high-throughput coating system (PECVD) for silicon thin-film solar cells

Projets afférents

Unité de recherche:	Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Numéro de projet	5994.2;5 EBS-IW
Titre du projet	Large-area and high-throughput coating system (PECVD) for silicion thin-film solar cells