Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten

Research unit

INNOSUISSE

Project number

2939.1;1 MJK

Project title

Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten

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Short description (German)	Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten