Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

2939.1;1 MJK

Projekttitel

Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten

Texte zu diesem Projekt

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Kurzbeschreibung		-	-	-

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Kurzbeschreibung (Deutsch)	Halbleiterpassivierungsschichten auf der Basis harter, amorpher Kohlenstoffschichten