Interféromètre à lumière blanche pour la mesure de la séparation entre deux surfaces parallèles

Research unit

INNOSUISSE

Project number

2491.1;3 MJK

Project title

Interféromètre à lumière blanche pour la mesure de la séparation entre deux surfaces parallèles

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Short description (French)	Interféromètre à lumière blanche pour la mesure de la séparation entre deux surfaces parallèles