IR-BAKER: Infrarot-Trocknungsapparatur zur Herstellung dicker Photoschichten

• Research unit: EU RFP
• Project number: 99.0619

Key words (English)

Photoresist; thick positive photoresist; infrared resist bake

Alternative project number (English)

EU project number: IN20544I

Research programs (English)

EU-programme: 4. Frame Research Programme - 9.1 Dissemination and optimisation of results

Short description (French)

Veuillez consulter l'abstract

Partners and International Organizations (French)

Coordinator: Forschungsagentur Berlin GmbH (D)

Abstract (French)

L' évaluation comparative de trois techniques pour le recuit de résines photosensibles épaisses a été effectuée: le recuit par étuve, le recuit sur plaque chauffante, et le recuit par rayonnement infrarouge. Ce traitement thermique après couchage des résines épaisses doit satisfaire au moins deux conditions: a) permettre l'évacuation complète des solvants contenus dans la résine, sans création de bulles, et b) offrir un temps de processing raisonnable et compatible avec le reste des opérations faisant partie de la chaîne photolithographique. En plus, la résine ainsi structurée doit être compatible avec des procédés de dépôt galvanique. Dans cette étude on s'est intéressé tout particulièrement aux résines positives atteignant des épaisseurs de l'ordre de 40 à 50mm, et l'on a évalué leur comportement par rapport au recuit post couchage, de même que leurs caractéristiques post exposition-développement telles qu'énergie d'exposition, temps de développement et flancs des structures après développement. On a comparé ces résultats à ceux obtenus avec des résines négatives ayant subi un recuit conventionnel par étuve. Par rapport à la forme des flancs après développement on a conclu que les résines positives traitées par infrarouge on tendance à prendre la forme de tonneau, ce qui n'est pas le cas avec certaines résines négatives recuites dans une étuve conventionnelle. La croissance galvanique (de Fe/Ni) apparaît mieux adaptée dans ce dernier cas.

References in databases (English)

Swiss Database: Euro-DB of the
State Secretariat for Education and Research
Hallwylstrasse 4
CH-3003 Berne, Switzerland
Tel. [phone]
Swiss Project-Number: 99.0619