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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
115.605 IP-ENG
Titre du projet
MEMS-based Gas Density Sensor
Titre du projet anglais
MEMS-based Gas Density Sensor

Textes relatifs à ce projet
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Textes saisis


CatégorieTexte
Mots-clé
(Anglais)
Engineering, Sensors
Résumé des résultats (Abstract)
(Allemand)
Ein offener Silizium-Mikrokondensator ermöglicht die kapazitive Gasdichtemessung mit höherer Empfindlichkeit und kleinerer Nichtlinearität als etablierte Schwingquarzsensoren und verspricht gute Temperatur- und Langzeitstabilität für den Einsatz in der Isoliergasüberwachung von HS-Schaltanlagen.