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Research unit
INNOSUISSE
Project number
115.605 IP-ENG
Project title
MEMS-based Gas Density Sensor

Texts for this project
 GermanFrenchItalianEnglish
Key words
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Abstract
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Inserted texts


CategoryText
Key words
(English)
Engineering, Sensors
Abstract
(German)
Ein offener Silizium-Mikrokondensator ermöglicht die kapazitive Gasdichtemessung mit höherer Empfindlichkeit und kleinerer Nichtlinearität als etablierte Schwingquarzsensoren und verspricht gute Temperatur- und Langzeitstabilität für den Einsatz in der Isoliergasüberwachung von HS-Schaltanlagen.