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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
115.605 IP-ENG
Projekttitel
MEMS-basierter Gasdichtesensor
Projekttitel Englisch
MEMS-based Gas Density Sensor

Texte zu diesem Projekt
 DeutschFranzösischItalienischEnglisch
Schlüsselwörter
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Abstract
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Erfasste Texte


KategorieText
Schlüsselwörter
(Englisch)
Engineering, Sensors
Abstract
(Deutsch)
Ein offener Silizium-Mikrokondensator ermöglicht die kapazitive Gasdichtemessung mit höherer Empfindlichkeit und kleinerer Nichtlinearität als etablierte Schwingquarzsensoren und verspricht gute Temperatur- und Langzeitstabilität für den Einsatz in der Isoliergasüberwachung von HS-Schaltanlagen.