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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
51355.1 IP-ENG
Projekttitel
FATIGUE - Fabrication And Testing of hIGh temperatUre pressurE sensors
Projekttitel Englisch
FATIGUE - Fabrication And Testing of hIGh temperatUre pressurE sensors

Texte zu diesem Projekt
 DeutschFranzösischItalienischEnglisch
Kurzbeschreibung
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Abstract
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Erfasste Texte


KategorieText
Kurzbeschreibung
(Deutsch)
FATIGUE - Fabrication And Testing of hIGh temperatUre pressurE sensors
Kurzbeschreibung
(Englisch)
FATIGUE - Fabrication And Testing of hIGh temperatUre pressurE sensors
Abstract
(Deutsch)
The proposed project aims to develop pressure sensors for high temperature (650°C) operation. It is based on novel technological approaches developed at CSEM to fabricate a new type of cost-effective MEMS sensors for harsh environments based on silicon carbide.