Intelligent Control of Evaporation process systems # rate, uniformity, layer properties applying modern methods of data analytics

• Unité de recherche: INNOSUISSE
• Numéro de projet: 47487.1 IP-ENG
• Titre du projet anglais: Intelligent Control of Evaporation process systems # rate, uniformity, layer properties applying modern methods of data analytics

Description succincte (Allemand)

Intelligente Kontrolle von Aufdampfprozessanlagen # Rate, Uniformität und Schichteigenschaften mit modernen Methoden der Data Analytics

Description succincte (Anglais)

Intelligent Control of Evaporation process systems # rate, uniformity, layer properties applying modern methods of data analytics

Résumé des résultats (Abstract) (Allemand)

Die Quarzkristallmikrowaage wird basierend auf einer neuartigen Messelektronik und dem modellgestützten Verständnis optimiert. Neben einer genaueren Schichtdickenbestimmung und Ratenkontrolle werden zusätzliche Informationen über die aufgedampften Schichten gewonnen und die Prozessregelung angepasst