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Research unit
INNOSUISSE
Project number
47487.1 IP-ENG
Project title
Intelligent Control of Evaporation process systems # rate, uniformity, layer properties applying modern methods of data analytics

Texts for this project
 GermanFrenchItalianEnglish
Short description
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Abstract
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Inserted texts


CategoryText
Short description
(German)
Intelligente Kontrolle von Aufdampfprozessanlagen # Rate, Uniformität und Schichteigenschaften mit modernen Methoden der Data Analytics
Short description
(English)
Intelligent Control of Evaporation process systems # rate, uniformity, layer properties applying modern methods of data analytics
Abstract
(German)
Die Quarzkristallmikrowaage wird basierend auf einer neuartigen Messelektronik und dem modellgestützten Verständnis optimiert. Neben einer genaueren Schichtdickenbestimmung und Ratenkontrolle werden zusätzliche Informationen über die aufgedampften Schichten gewonnen und die Prozessregelung angepasst