Intelligente Kontrolle von Aufdampfprozessanlagen # Rate, Uniformität und Schichteigenschaften mit modernen Methoden der Data Analytics

• Forschungsstelle: INNOSUISSE
• Projektnummer: 47487.1 IP-ENG
• Projekttitel Englisch: Intelligent Control of Evaporation process systems # rate, uniformity, layer properties applying modern methods of data analytics

Kurzbeschreibung (Deutsch)

Intelligente Kontrolle von Aufdampfprozessanlagen # Rate, Uniformität und Schichteigenschaften mit modernen Methoden der Data Analytics

Kurzbeschreibung (Englisch)

Intelligent Control of Evaporation process systems # rate, uniformity, layer properties applying modern methods of data analytics

Abstract (Deutsch)

Die Quarzkristallmikrowaage wird basierend auf einer neuartigen Messelektronik und dem modellgestützten Verständnis optimiert. Neben einer genaueren Schichtdickenbestimmung und Ratenkontrolle werden zusätzliche Informationen über die aufgedampften Schichten gewonnen und die Prozessregelung angepasst