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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
42449.1 IP-ENG
Projekttitel
ThreeFree
Projekttitel Englisch
ThreeFree

Texte zu diesem Projekt
 DeutschFranzösischItalienischEnglisch
Kurzbeschreibung
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Abstract
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Erfasste Texte


KategorieText
Kurzbeschreibung
(Deutsch)
ThreeFree
Kurzbeschreibung
(Englisch)
Development of next generation drift FREE high vacuum gauges with lead FREE, stress FREE joining process
Abstract
(Deutsch)
The goal is to develop drift free and stress free ceramic capacitance diaphragm gauges with lead free glass sealing and even better performance than today's state of the art for their core business customers in the semiconductor processing industries, in particular for dry etching processes.