Coating technology for the high throughput, high yield production of dielectric optical interference filters for multi- spectral imaging

• Unité de recherche: INNOSUISSE
• Numéro de projet: 39986.1 IP-ENG
• Titre du projet anglais: Coating technology for the high throughput, high yield production of dielectric optical interference filters for multi- spectral imaging

Description succincte (Allemand)

Beschichtungstechnologie für die Herstellung von dielektrischen optischen Interferenzfiltern für die Multispektralabbildung mit hohem Durchsatz und Yield

Description succincte (Anglais)

Coating technology for the high throughput, high yield production of dielectric optical interference filters for multi- spectral imaging

Résumé des résultats (Abstract) (Allemand)

Entwickelt wird eine Magnetron-Sputter-Anlage für die Herstellung komplexer Filtersysteme für den Consumer-Massenmarkt (z.B. für die Multispektralbildgebung). Mittels neuem Sputter- und Monitoringprozess wird ein hoher Durchsatz und hohe Ausbeute sichergestellt.