Beschichtungstechnologie für die Herstellung von dielektrischen optischen Interferenzfiltern für die Multispektralabbildung mit hohem Durchsatz und Yield

• Forschungsstelle: INNOSUISSE
• Projektnummer: 39986.1 IP-ENG
• Projekttitel Englisch: Coating technology for the high throughput, high yield production of dielectric optical interference filters for multi- spectral imaging

Kurzbeschreibung (Deutsch)

Beschichtungstechnologie für die Herstellung von dielektrischen optischen Interferenzfiltern für die Multispektralabbildung mit hohem Durchsatz und Yield

Kurzbeschreibung (Englisch)

Coating technology for the high throughput, high yield production of dielectric optical interference filters for multi- spectral imaging

Abstract (Deutsch)

Entwickelt wird eine Magnetron-Sputter-Anlage für die Herstellung komplexer Filtersysteme für den Consumer-Massenmarkt (z.B. für die Multispektralbildgebung). Mittels neuem Sputter- und Monitoringprozess wird ein hoher Durchsatz und hohe Ausbeute sichergestellt.