NanoFrazor Scholar - high resolution nanolithography tool for everyone

• Unité de recherche: INNOSUISSE
• Numéro de projet: 25142.1 PFNM-NM
• Titre du projet anglais: NanoFrazor Scholar - high resolution nanolithography tool for everyone

Description succincte (Allemand)

NanoFrazor Scholar - hochauflösendes Nanolithographie-Tool für Technologie-Einsteiger

Description succincte (Anglais)

NanoFrazor Scholar - high resolution nanolithography tool for everyone

Résumé des résultats (Abstract) (Allemand)

Die NanoFrazor Instrumente ermöglichen den Zugang zur 3D Nanostrukturierung mit unerreichter Präzision. Eine Neuentwicklung, beruhend auf modellbasierter Regelungstechnik und hochsensitiver Abstandssensorik eröffnet für SwissLitho einen neuen Markt und Zugang zu einzelnen Forschungsgruppen. Erstmals können kostengünstige «off-the-shelf» Komponenten für die Positionierer des NanoFrazors verwendet werden. Zudem werden auch Geschwindigkeit und Genauigkeit der bisherigen Systeme deutlich verbessert.