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Research unit
INNOSUISSE
Project number
25142.1 PFNM-NM
Project title
NanoFrazor Scholar - high resolution nanolithography tool for everyone

Texts for this project

 GermanFrenchItalianEnglish
Short description
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Abstract
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Inserted texts


CategoryText
Short description
(German)
NanoFrazor Scholar - hochauflösendes Nanolithographie-Tool für Technologie-Einsteiger
Short description
(English)
NanoFrazor Scholar - high resolution nanolithography tool for everyone
Abstract
(German)
Die NanoFrazor Instrumente ermöglichen den Zugang zur 3D Nanostrukturierung mit unerreichter Präzision. Eine Neuentwicklung, beruhend auf modellbasierter Regelungstechnik und hochsensitiver Abstandssensorik eröffnet für SwissLitho einen neuen Markt und Zugang zu einzelnen Forschungsgruppen. Erstmals können kostengünstige «off-the-shelf» Komponenten für die Positionierer des NanoFrazors verwendet werden. Zudem werden auch Geschwindigkeit und Genauigkeit der bisherigen Systeme deutlich verbessert.