Machbarkeitsstudie : HiFlow - High Sensitivity Flowsensor for Extended Flow Range - Texte

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Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

16862.2 PFNM-NM

Projekttitel

Machbarkeitsstudie : HiFlow - High Sensitivity Flowsensor for Extended Flow Range

Projekttitel Englisch

HiFlow - High sensitivity flow sensor for extended flow range

Texte zu diesem Projekt

	Deutsch	Französisch	Italienisch	Englisch
Kurzbeschreibung		-	-
Abstract		-	-

Erfasste Texte

Kategorie	Text
Kurzbeschreibung (Deutsch)	Machbarkeitsstudie : HiFlow - High Sensitivity Flowsensor for Extended Flow Range
Kurzbeschreibung (Englisch)	HiFlow - High sensitivity flow sensor for extended flow range
Abstract (Deutsch)	In HiFlow, a compact MEMS based mass flow sensor with ultra low pressure drop, suited for a flow range of at least 30'000 sccm, is developed and demonstrated. In addition, the sensor will be characterised by its high dynamic range, fast response and low noise.
Abstract (Englisch)	In HiFlow, a compact MEMS based mass flow sensor with ultra low pressure drop, suited for a flow range of at least 30'000 sccm, is developed and demonstrated. In addition, the sensor will be characterised by its high dynamic range, fast response and low noise.