Bearingless High Temperature Pump

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 15658.2 PFEN-IW

Short description (German)

Magnetisch gelagerte Hochtemperatur-Pumpe

Short description (English)

Bearingless High Temperature Pump

Abstract (German)

Für zahlreiche Prozesse in der Halbleiterproduktion werden hochaggressive Flüssigkeiten bei möglichst hohen Temperaturen verwendet. Das limitierende Element ist hierbei die Flüssigkeitspumpe, da die Membran der Pumpe bei derart hohen Flüssigkeitstemperaturen an ihre materialtechnischen Grenzen stösst. Prinzipbedingt bietet hier eine Pumpe mit einem magnetgelagerten Flügelrad Vorteile, da hier alle Teile aus starren Komponenten aufgebaut werden können. Basierend auf der von Levitronix und der ETH entwickelten Magnetlagertechnologie soll in diesem Projekt daher eine hochreine, metallfreie und säurenfeste Pumpe für den Betrieb bei Flüssigkeitstemperaturen von bis zu 260°C entwickelt werden. Eine derartige Pumpe würde in ein bisher vollkommen unbesetztes Marktsegment vorstossen und den Weg für effizientere und neue Halbleiterprozesse ebnen.

Abstract (English)