Assemblage de micro pièces silicium

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 14710.1;7 PFIW-IW

Short description (English)

Assemblage de micro pièces silicium

Short description (French)

Assemblage de micro pièces silicium

Abstract (French)

Les techniques de micro-fabrication développées ces dernières années ont permis la production de microcomposants de plus en plus petits et complexes. Les méthodes d¿assemblage mécanique traditionnelles comme le chassage ou le rivetage ne suffisent plus à satisfaire toutes les opérations d'assemblage de ces micro-composants. La miniaturisation engendre une fragilisation du composant qui rendent délicates, voire impossible, les opérations d¿assemblage traditionnelles. Ce projet a pour but de développer une méthode d¿assemblage pour micro-composants fragiles obtenus par micro-fabrication (LIGA, DRIE).