Nanobridge - Multiaxis big stroke positioning with nanometer precision - Textes

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Numéro de projet

14631.1;9 PFNM-NM

Titre du projet

Nanobridge ¿ Multiaxis big stroke positioning with nanometer precision

Titre du projet anglais

Nanobridge ¿ Multiaxis big stroke positioning with nanometer precision

Textes relatifs à ce projet

	Allemand	Français	Italien	Anglais
Description succincte		-	-
Résumé des résultats (Abstract)		-	-

Textes saisis

Catégorie	Texte
Description succincte (Allemand)	Nanobridge - Multiaxis big stroke positioning with nanometer precision
Description succincte (Anglais)	Nanobridge ¿ Multiaxis big stroke positioning with nanometer precision
Résumé des résultats (Abstract) (Allemand)	Multiaxis positioning system with nanometer precision for lithography applications. The project bridges the paradigms of nanotechnology limited to micrometer dimensions with state-of-the-art technology of mechatronic positioning systems for the meter range.
Résumé des résultats (Abstract) (Anglais)	Multiaxis positioning system with nanometer precision for lithography applications. The project bridges the paradigms of nanotechnology limited to micrometer dimensions with state-of-the-art technology of mechatronic positioning systems for the meter range.