Nanobridge - Multiaxis big stroke positioning with nanometer precision - Texte

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Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

14631.1;9 PFNM-NM

Projekttitel

Nanobridge - Multiaxis big stroke positioning with nanometer precision

Projekttitel Englisch

Nanobridge ¿ Multiaxis big stroke positioning with nanometer precision

Texte zu diesem Projekt

	Deutsch	Französisch	Italienisch	Englisch
Kurzbeschreibung		-	-
Abstract		-	-

Erfasste Texte

Kategorie	Text
Kurzbeschreibung (Deutsch)	Nanobridge - Multiaxis big stroke positioning with nanometer precision
Kurzbeschreibung (Englisch)	Nanobridge ¿ Multiaxis big stroke positioning with nanometer precision
Abstract (Deutsch)	Multiaxis positioning system with nanometer precision for lithography applications. The project bridges the paradigms of nanotechnology limited to micrometer dimensions with state-of-the-art technology of mechatronic positioning systems for the meter range.
Abstract (Englisch)	Multiaxis positioning system with nanometer precision for lithography applications. The project bridges the paradigms of nanotechnology limited to micrometer dimensions with state-of-the-art technology of mechatronic positioning systems for the meter range.