Magnetgelagerter High-Purity Ventilator

• Forschungsstelle: INNOSUISSE
• Projektnummer: 13512.1;5 PFFLE-IW
• Projekttitel Englisch: Magnetically levitated high-purity ventilator

Kurzbeschreibung (Deutsch)

Magnetgelagerter High-Purity Ventilator

Kurzbeschreibung (Englisch)

Magnetically levitated high-purity ventilator

Abstract (Deutsch)

Bei zahlreichen Anwendungen im Halbleiter- und Chemiebereich entstehen innerhalb der Prozesskammer hochreaktive Dämpfe und Gase, die abgeführt werden müssen. Ventilatoren mit mechanischen Lagern werden von den Gasen stark angegriffen und haben bei diesen Anwendungen daher nur eine sehr kurze Lebensdauer. Die Idee eines magnetgelagerten Ventilators eröffnet hierbei komplett neue Möglichkeiten. Der frei schwebende Rotor, an dem das Flügelrad montiert ist, kann mit beständigen Kunststoffen umkapselt werden, während sich der Motor von den Chemikalien geschützt ausserhalb des Gaskanals befindet. In dem zur Förderung beantragten Projekt soll daher ein neuartiger magnetgelagerter Ventilator entwickelt werden