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Research unit
INNOSUISSE
Project number
13296.1;5 PFFLE-NM
Project title
High speed control algorithm for mass flow controller

Texts for this project

 GermanFrenchItalianEnglish
Short description
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Abstract
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Inserted texts


CategoryText
Short description
(German)
High speed control algorithm for mass flow controller
Short description
(English)
High speed control algorithm for mass flow controller
Abstract
(German)
Bei diesem Projekt soll für die nächste Generation von MassFlowControllern (MFC) eine Reglerstruktur gefunden werden, welche wesentlich schneller und stabiler ist als die Reglerstrukturen der älteren Generationen. Dazu muss die Reglerstrecke analysiert werden, um eine optimale Reglerstruktur finden zu können. Anschliessend soll der Regler anhand von Messungen verifiziert und Möglichkeiten zur Bestimmung der Parameter aufgezeigt werden.