ServicenavigationHauptnavigationTrailKarteikarten

Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
13296.1;5 PFFLE-NM
Projekttitel
High speed control algorithm for mass flow controller
Projekttitel Englisch
High speed control algorithm for mass flow controller

Texte zu diesem Projekt
 DeutschFranzösischItalienischEnglisch
Kurzbeschreibung
Anzeigen
-
-
Anzeigen
Abstract
Anzeigen
-
-
-

Erfasste Texte


KategorieText
Kurzbeschreibung
(Deutsch)
High speed control algorithm for mass flow controller
Kurzbeschreibung
(Englisch)
High speed control algorithm for mass flow controller
Abstract
(Deutsch)
Bei diesem Projekt soll für die nächste Generation von MassFlowControllern (MFC) eine Reglerstruktur gefunden werden, welche wesentlich schneller und stabiler ist als die Reglerstrukturen der älteren Generationen. Dazu muss die Reglerstrecke analysiert werden, um eine optimale Reglerstruktur finden zu können. Anschliessend soll der Regler anhand von Messungen verifiziert und Möglichkeiten zur Bestimmung der Parameter aufgezeigt werden.