High speed control algorithm for mass flow controller

• Unité de recherche: INNOSUISSE
• Numéro de projet: 13296.1;5 PFFLE-NM
• Titre du projet anglais: High speed control algorithm for mass flow controller

Description succincte (Allemand)

High speed control algorithm for mass flow controller

Description succincte (Anglais)

High speed control algorithm for mass flow controller

Résumé des résultats (Abstract) (Allemand)

Bei diesem Projekt soll für die nächste Generation von MassFlowControllern (MFC) eine Reglerstruktur gefunden werden, welche wesentlich schneller und stabiler ist als die Reglerstrukturen der älteren Generationen. Dazu muss die Reglerstrecke analysiert werden, um eine optimale Reglerstruktur finden zu können. Anschliessend soll der Regler anhand von Messungen verifiziert und Möglichkeiten zur Bestimmung der Parameter aufgezeigt werden.