Development of a micro piezostack drive for microvalves

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 12130.1;13 PFNM-NM

Short description (German)

Entwicklung eines Kleinst-Piezoantriebes für Mikroventile

Short description (English)

Development of a micro piezostack drive for microvalves

Abstract (German)

Das Projektziel ist die Entwicklung eines Piezostapelantriebes mit sub-Milimeter Dimensionen für tiefe Betriebspannungen und hohe Frequenzen für Mikrofluidik, Mikroaktorik und Medizinaltechnik. Der Piezostapel müsste 100-1000 Schichten umfassen und deshalb mit Dünnschichttechniken gefertigt werden. In einer ersten Phase soll die Entwicklung und Charakterisierung eines Sub-Sets erfolgen, um die Schwierigkeiten abzuklären. In einer zweiten Phase wird ein Demonstrationsprozess mit zugehöriger Hardware entwickelt um den Prozess zu automatisieren. Die erfolgreiche Entwicklung dieses Produktes wird die Wettbewerbsposition der Industriepartner signifikant zu verstärken.