Development of a hot embossing process for the production of microsensor arrays for biological sensor applications

• Unité de recherche: INNOSUISSE
• Numéro de projet: 12187.1;3 PFNM-NM
• Titre du projet anglais: Development of a hot embossing process for the production of microsensor arrays for biological sensor applications

Description succincte (Allemand)

Entwicklung eines Prägeverfahrens zur Herstellung einer Mikrosäulenfolie für biologische Sensor Anwendungen (SensorFoil)

Description succincte (Anglais)

Development of a hot embossing process for the production of microsensor arrays for biological sensor applications

Résumé des résultats (Abstract) (Allemand)

Ziel dieses Projektes ist es, ein Heissprägeverfahren für die grossflächige Herstellung von Mikrosensoren Matrizen zu entwickeln, die zur Kontraktionsmessung von Einzelzellen benutzt werden. Diese Mikrosensoren besitzen eine zylindrische Form, sind wenige Mikrometer gross und aus Silikonelastomer mit einer Messauflösung von 5 bis 10 nano-Newton. Die besonderen Herausforderungen sind die Fertigungsgenauigkeit und Reproduzierbarkeit einer Sensorfläche mit 450'000 Sensoren pro cm2.