Development of a hot embossing process for the production of microsensor arrays for biological sensor applications

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 12187.1;3 PFNM-NM

Short description (German)

Entwicklung eines Prägeverfahrens zur Herstellung einer Mikrosäulenfolie für biologische Sensor Anwendungen (SensorFoil)

Short description (English)

Development of a hot embossing process for the production of microsensor arrays for biological sensor applications

Abstract (German)

Ziel dieses Projektes ist es, ein Heissprägeverfahren für die grossflächige Herstellung von Mikrosensoren Matrizen zu entwickeln, die zur Kontraktionsmessung von Einzelzellen benutzt werden. Diese Mikrosensoren besitzen eine zylindrische Form, sind wenige Mikrometer gross und aus Silikonelastomer mit einer Messauflösung von 5 bis 10 nano-Newton. Die besonderen Herausforderungen sind die Fertigungsgenauigkeit und Reproduzierbarkeit einer Sensorfläche mit 450'000 Sensoren pro cm2.