Feasibility study on 3D- probing system for micro components.

• Unité de recherche: INNOSUISSE
• Numéro de projet: 9732.1;4 PFIW-IW
• Titre du projet anglais: Feasibility study on 3D- probing system for micro components.

Description succincte (Allemand)

Machbarkeitsstudie zu 3D- Tastkonzept für Mikrobauteile.

Description succincte (Anglais)

Feasibility study on 3D- probing system for micro components.

Résumé des résultats (Abstract) (Allemand)

Ziel dieser Machbarkeitsstudie ist die Realisierung eines Prototypen für ein neuartiges 3D- Tastkonzept, welches sich für die geometrische Überprüfung von Bauteilen mit Toleranzen im Mikrometerbereich und Massen im Millimeterbereich eignet. Das 3D- Tastsystem basiert auf einem flächenhaften Interferometer, mit welchem die Verlagerung einer Messebene in Strahlrichtung sowie die Rotationen senkrecht dazu bestimmt werden, womit die Position einer Tastkugel berechnet werden kann.