Feasibility study on 3D- probing system for micro components.

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 9732.1;4 PFIW-IW

Short description (German)

Machbarkeitsstudie zu 3D- Tastkonzept für Mikrobauteile.

Short description (English)

Feasibility study on 3D- probing system for micro components.

Abstract (German)

Ziel dieser Machbarkeitsstudie ist die Realisierung eines Prototypen für ein neuartiges 3D- Tastkonzept, welches sich für die geometrische Überprüfung von Bauteilen mit Toleranzen im Mikrometerbereich und Massen im Millimeterbereich eignet. Das 3D- Tastsystem basiert auf einem flächenhaften Interferometer, mit welchem die Verlagerung einer Messebene in Strahlrichtung sowie die Rotationen senkrecht dazu bestimmt werden, womit die Position einer Tastkugel berechnet werden kann.