MEMS oscillator : development of a precise, low frequency and low power time base in MEMS technology on silicon

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 9829.1;5 PFNM-NM

Short description (English)

MEMS oscillator : development of a precise, low frequency and low power time base in MEMS technology on silicon

Short description (French)

Oscillateur MEMS : développement d'une base de temps précise, basse fréquence et faible consommation en technologie MEMS sur silicium

Abstract (French)

La recherche de composants toujours plus petits, plus économiques et plus fiables est une préoccupation constante de l¿industrie microélectronique. Un exemple est le résonateur de la première montre électronique Bêta 1 parue en 1966 qui était un barreau de quartz oscillant à 8kHz. Ce composant a évolué et existe aujourd¿hui sous forme d¿un diapason de fréquence 32kHz découpé collectivement par voie chimique et disponible en petit boîtier céramique SMD ultraplat. Le but de ce projet est d¿explorer la réalisation d¿oscillateurs MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) sur silicium pour des applications dont la fréquence est inférieure à 2MHz telles que montres et horloges temps réel. L¿oscillateur MEMS comprend un résonateur micro-usiné, une électronique réalisant les fonctions d¿oscillation, de compensation de la température et de la fréquence, ainsi qu¿une encapsulation. Les progrès récents réalisés dans la gravure de géométries très fines dans le silicium et dans les procédés d¿encapsulation offrent des perspectives très intéressantes de réalisation d¿oscillateurs MEMS à haut niveau d¿intégration, précis, fiables, de très petites dimensions et économiques.