Micro fabrication technology of mixed silicon/metal components

• Research unit: INNOSUISSE
• Project number: 8913.1;4 PFNM-NM

Short description (English)

Micro fabrication technology of mixed silicon/metal components

Short description (French)

Technologie de micro-fabrication de pièces mixtes silicium/métal

Abstract (French)

L'objet du projet est la fabrication de micro-pièces en matériaux mixtes silicium/métal à l'aide des technologies mircoélectroniques. Les pièces seront produites par croissance galvanique structurée sur et dans une pièce gravée en silicium.La réalisation de ces pièces représente une innovation majeure dans les micropièces réalisées par les technologies LIGA et gravure profonde. La présence de deux matériaux au sein d'une seule et unique pièce ouvre de nouveaux champs d'applications pour les constructions micromécaniques horlogères et autres.