Signalanalyseverfahren für berührungslose, Infrarotsensor-basierte Schichtsystemcharakterisierung

• Forschungsstelle: INNOSUISSE
• Projektnummer: 9041.2;5 PFNM-NM
• Projekttitel Englisch: Thickness measurement- and surface inspection system based on infrared Technology

Kurzbeschreibung (Deutsch)

Signalanalyseverfahren für berührungslose, Infrarotsensor-basierte Schichtsystemcharakterisierung

Kurzbeschreibung (Englisch)

Thickness measurement- and surface inspection system based on infrared Technology

Abstract (Deutsch)

Das Projekt befasst sich mit der Entwicklung von neuartigen Verfahren zur Analyse von zeitlich und örtlich aufgelösten Signalen eines Infrarot-Messsystems. Das physikalische Modell für ein Messgerät zur Cha-rakterisierung von Schichtsystemen soll erweitert und vertieft, neue Algorithmen zur Auswertung ent-wickelt und der Messprozess fokussiert auf die Industrieanforderungen ausgelegt werden.Aus den Messdaten will man die Dicke individueller Schichten ableiten sowie Aussagen über Stoffdaten und Schichtqualität machen können.