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Research unit
INNOSUISSE
Project number
7821.1;7 EPRP-IW
Project title
Forced Oscillation Compensation of a Wire Bonder

Texts for this project
 GermanFrenchItalianEnglish
Short description
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Abstract
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Inserted texts


CategoryText
Short description
(German)
Aktive Schwingungs-Kompensation eines Wire Bonders
Short description
(English)
Forced Oscillation Compensation of a Wire Bonder
Abstract
(German)
Der Prozess des Wire Bonding stösst bezüglich seiner Geschwindigkeit auf Grund von strukturdynamischen Gegebenheiten an seine Grenzen. Die Positioniereinheit kann durch das stossartige Positionieren -trotz Optimierung- nicht mehr als starrer Körper betrachtet werden, er deformiert sich. Dies führt zu einer ungewollten Auslenkung der Kapillare, welches mittels mehrerer Piezo-Aktoren kompensiert wird. Eine Geschwindigkeitssteigerung des Bondingprozesses von 10% kann erwartet werden.