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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
7821.1;7 EPRP-IW
Projekttitel
Aktive Schwingungs-Kompensation eines Wire Bonders
Projekttitel Englisch
Forced Oscillation Compensation of a Wire Bonder

Texte zu diesem Projekt
 DeutschFranzösischItalienischEnglisch
Kurzbeschreibung
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Abstract
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Erfasste Texte


KategorieText
Kurzbeschreibung
(Deutsch)
Aktive Schwingungs-Kompensation eines Wire Bonders
Kurzbeschreibung
(Englisch)
Forced Oscillation Compensation of a Wire Bonder
Abstract
(Deutsch)
Der Prozess des Wire Bonding stösst bezüglich seiner Geschwindigkeit auf Grund von strukturdynamischen Gegebenheiten an seine Grenzen. Die Positioniereinheit kann durch das stossartige Positionieren -trotz Optimierung- nicht mehr als starrer Körper betrachtet werden, er deformiert sich. Dies führt zu einer ungewollten Auslenkung der Kapillare, welches mittels mehrerer Piezo-Aktoren kompensiert wird. Eine Geschwindigkeitssteigerung des Bondingprozesses von 10% kann erwartet werden.