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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
6814.1;5 NMS-NM
Projekttitel
Miniaturized silicon piezoresitive inclinometer
Projekttitel Englisch
Miniaturized silicon piezoresitive inclinometer

Texte zu diesem Projekt
 DeutschFranzösischItalienischEnglisch
Kurzbeschreibung
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Abstract
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Erfasste Texte


KategorieText
Kurzbeschreibung
(Englisch)
Miniaturized silicon piezoresitive inclinometer
Kurzbeschreibung
(Französisch)
Miniaturized silicon piezoresitive inclinometer
Abstract
(Englisch)
The goal of this project is to develop a miniaturized piezoresistive silicon tilt sensor (inclinometer) capable of measuring angles up to 45° with an accuracy of 0.2°. The fabrication process will combine the know-how in piezoresistive sensor technology of Intersema Sensoric SA and in Deep reactive Ion Etching (DRIE) of IMT in order to meet the requirements of small size, low cost and high accuracy of the watch indutry.