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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
5393.1;5 TNS-NM
Projekttitel
3-D touch with 5 nm resolution and 20 nm repeatability for coordinate measuring machines
Projekttitel Englisch
3-D touch with 5 nm resolution and 20 nm repeatability for coordinate measuring machines

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Kurzbeschreibung
(Englisch)
3-D touch with 5 nm resolution and 20 nm repeatability for coordinate measuring machines