High-Speed Sputtering von ZnS-SiO2 Schichten mit minimalen thermischen und mechanischen Spannungen

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

4473.1;5 FHS

Titre du projet

High-Speed Sputtering von ZnS-SiO2 Schichten mit minimalen thermischen und mechanischen Spannungen

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