High-Speed Sputtering von ZnS-SiO2 Schichten mit minimalen thermischen und mechanischen Spannungen

Research unit

INNOSUISSE

Project number

4473.1;5 FHS

Project title

High-Speed Sputtering von ZnS-SiO2 Schichten mit minimalen thermischen und mechanischen Spannungen

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Short description (German)	High-Speed Sputtering von ZnS-SiO2 Schichten mit minimalen thermischen und mechanischen Spannungen