Oxydes semiconducteurs en couches minces destinés à la détection d'oxygène dans des capteurs intégrés miniaturisés

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

3185.1;2 KTS

Titre du projet

Oxydes semiconducteurs en couches minces destinés à la détection d'oxygène dans des capteurs intégrés miniaturisés

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