M2S2 Laborverbund: Procédés électrochimiques et structuration de photorésists épais

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

2803.1;1 MIE

Titre du projet

M2S2 Laborverbund: Procédés électrochimiques et structuration de photorésists épais

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.10.1994
Date de fin	01.04.1996

Coûts totaux approuvés	258'000.00 CHF
Domaine	8 Micro-électronique
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % Pas encore déterminé

Dernière modification du projet 27.11.2014