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Forschungsstelle
SBFI
Projektnummer
24.00014
Projekttitel
SUB-WAVELENGTH HOLOGRAPHIC LITHOGRAPHY STEPPER FOR INTEGRATED CIRCUIT PRODUCTION
Projektstatus In Bearbeitung / verpflichtet
 
Startdatum 01.01.2024
Endedatum 31.12.2027
 
Gesamtkosten bewilligt 67'928.00  CHF
Bereich EU-Rahmenprogramme EURA
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Beziehungen zum Ausland
 
Fachbereiche
100 % Nicht spezifischen Disziplinen zuteilbar
Letzte Änderung Projekt