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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
49412.1 IP-ENG
Projekttitel
Neuartige Schichtdickenmessung (LINTHERM)
Projekttitel Englisch
Novel coating thickness measurement (LINTHERM)
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.06.2021
Endedatum 01.11.2023
 
Gesamtkosten bewilligt 410'210.27  CHF
Bereich 70 Engineering
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt