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Forschungsstelle
SBFI
Projektnummer
15.0208
Projekttitel
Metrology for manufacturing 3D stacked integrated circuits
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.06.2015
Endedatum 17.12.2018
 
Gesamtkosten bewilligt 298'931.00  CHF
Bereich EU-Rahmenprogramme EURA
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Beziehungen zum Ausland
 
Fachbereiche
100 % Nicht spezifischen Disziplinen zuteilbar
Letzte Änderung Projekt