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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
37593.1 INNO-ENG
Titre du projet
Study of UV-LED light interaction with negative photoresists for cost-effective photolithography applications
Titre du projet anglais
Study of UV-LED light interaction with negative photoresists for cost-effective photolithography applications
Etat du projet Terminé
 
Date de début 21.05.2019
Date de fin 21.08.2020
 
Coûts totaux approuvés 15'000.00  CHF
Domaine 70 Engineering
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Production et technologie industrielles
 
Disciplines/domaines
100 % T171 Microélectronique
Dernière modification du projet