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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
37593.1 INNO-ENG
Projekttitel
Study of UV-LED light interaction with negative photoresists for cost-effective photolithography applications
Projekttitel Englisch
Study of UV-LED light interaction with negative photoresists for cost-effective photolithography applications
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 21.05.2019
Endedatum 21.08.2020
 
Gesamtkosten bewilligt 15'000.00  CHF
Bereich 70 Engineering
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt