Micromechanical Components in Single Crystal Diamond

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

27684.1 PFNM-NM

Titre du projet

Micromechanical Components in Single Crystal Diamond

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.04.2018
Date de fin	01.10.2019

Coûts totaux approuvés	184'154.35 CHF
Domaine	22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % T171 Microélectronique

Dernière modification du projet