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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
27721.1 INNO-NM
Projekttitel
Raman UV-Prozesskontrolle
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 05.12.2017
Endedatum 05.03.2019
 
Gesamtkosten bewilligt 7'500.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt